研发成功只透镜的是第一步。光
造难度极大，但主要的拦路虎一共有四条。第刻机的制
是微极高，一台光刻机数万个零件，要密零部件的加工精度米级，绝求的制造精度最少也精度一是制造精度要求达到亚微米。这0纳～2米级，极少数超高精多数精密部件要求0需要达到00纳米大
的精度，以国内现样高行的不到。人加工技术，根本做
精就算级技只有00微米的极度仅能着十件。不持年磨一剑的精神，达到亚微米级，工的手工打磨最高力有时而穷，八也磨高精密零不出精度秉
超高精这已经不是问工要全达到了个别件的加列加工设备，均达到过对于钢铁密零部磨床等一系求。米的水平，完发的自动车床、铣床、了最高精度一百多纳题。实验工厂新研城来说，
度的透镜。透光个是高第二第
行动部件。三个拦路虎，则是光刻机的
是短波激光光源。芯后就最一个，
动，来改变光刻聚焦片光刻，是通过工作，对光刻它的运动控制部件优劣要率，可以说是光刻机最核心的子系统。。，直接决，又决定了产定了光刻的胶进行刻蚀精度，而移动速度台的移
的最小移动常距离必须非小，最好是一个纳个纳米移动。实保证最佳的对焦调整，工作台米一
到这样的精度。际制作中当然达不
距刻效果，最小线宽，它的光达到了三百五纳米。加上光源波长以飞利浦最新款的光刻离实际只机为例，它的最小移动十纳米。其有300
他厂商差不多也是同一不大。平，有区别也差距水
这就是当前国际最先进的光刻机制程能力。
所谓一代设备，一产品。代
最的制程工艺。器，采用的新的奔腾22处理就是350纳米线宽
室，对李莲道度怎么样？”：“你们这边进白云天进入到实验
他一个笑脸。她李莲给了“非常顺利！”
领的小组，负责制工作台子系统，其中带件。的最重要造光刻机最关键的就是运动部
，移动部分不为了保证运动的稳定性导轨。是普通导轨，而是空气悬浮
它不算太大。从制造难度来说，
度，对才鸟枪换炮来说一点难度也没有钢铁城。的加工精无非是一两百纳米的
力学知识还是因为导非常高深的流体响降到最低，从而设计，刻机研制的拦满足工业需要的产品之所以它会成影怎样设计才会将。偏轨设计需要运用到气流对工作台稳定性的为光路虎，出才能验算出
成阻碍。天最不构偏这一点，对白云
谁让他有《制造史回顾》！从
旷野中摸索。度来说，这时代的科研的角其他人就好像盲人在
倒，然后还的山路，亦或是高不障碍物绊。只他们要很小心才不会路上的沟坎、可攀的山峰要努崎岖难行力分辨前方究竟是悬崖，还是
巨大代价，找到一条前进的道路。但们才能花费气流动、潺潺水声，他有通过空
、空气前行，即便如此，也。在这个过程中，他们告诉别不又退回到起人某条路可能与其他探路者相是会走入死胡同，不得重新寻找别的途径许跟着水流要再去尝试。互交流信息，路，让他们不某条路是死能走得通，点，也尽可还
人一步，都艰类文明每前进但辛无比。
白云天不同。
会走错。同开方的道路他就如决有着完整对不的认面八落地，就对四知，绝了全图的玩家，一
的交通工具。前进速度的，定他程，而是有着怎样从来不是寻路的过
景，偶尔步有空以用这钱去买一他可以一下来的路上骑得更快、一个岔路入丢的钱。随后，他就可美丽的风看看的道路上辆自行车，在接，在地上捡到一点不直走在正确知道谁更轻松，还。
光刻机的制造就是这样。其
其他，潜心研究数年用最好的他光刻机巨头，需要研发设备研发人员，，中途还要用利益跟人交秀的前行一步。换技术，才能艰难地投入重金，请最优
。他然而白云天不需要
就清楚地知道自己在做什么样的东西，如在一开始，何去做。
西做出来。这术够了，不需要试多少次，就能将东只要自己的技
研人员是不公对这时代的其他科平的。但
有公平！从来没这世界，
，这是言！世不变的至理箴落后就要挨打永
坚定地走在自己的是根据自己白云天的目标，从来不需要顾虑他路上。他只人的感受，
透容易就做了出来。镜、工作台很
。当个工作台，改并据后世设计，对工作台根为了双工作台做了巨大改动，将惯常的一且他还
、微调、测量等前地提升了光刻效率。进行光刻工序圆片更换、定位序工作。当那一个工作台换位，立即就能进行下一道光刻工序，极大台完成光刻，两个工作作台则提前进行晶时，另一个工一个工作台正在
唯分，是自造的。毕光源部一没有
源，波长统一为35竟汞灯只是光刻机别大。国际市场上的供光，其制造难度并不是特应商很多，全面禁止对很容易买到。白华出口的难度较大，纳米
天为了省事，也就没自造，云买了一套。通过国内，直接购而是
但是他还是做了小幅改进。就
焦是用将目镜浸入纯净液体中行一定幅度的折射，从的方式，对光束波长进而达到聚效果。
在后世，这源。叫浸入式光
技厂商正验室研究阶段，尚未投入实用。既现在各大光在就此技术，进行实科
光源聚焦，里有完整的技术然白云天实，浸入式光手源又能小幅改进那又为何不用？
际使用效果很好。
采用了浸入式光到了3，34米的光束波长被约束技术以后纳2纳米！源
了近40纳，提升比之英特尔使用的350纳米技术米！
在白云天的亲自指导监督下，有李大的技术难点，一一度快得惊人，透镜、工最导，光刻机的制造进莲、华新等人直接领克。经被轻松攻作台子系统、光源等
其实就是逐步熟悉制造造的技术人员感利得让所梦。大晶元刻蚀技术攻关——有参与制过两个月的觉如在工艺，一台200的光刻机就顺双工位，最尺寸为做利建造完成，顺
“这就做好了？”当
，对光后一块挡板刻机通电系统测试通信这个事实，不上，螺丝拧紧发成功，其他人还是由窃窃私语。连研相合不敢云天宣布光刻机最过，白
制作出子系统光刻机……解决一，再到总装个个技术问题，下料到一台这时代最先进的，两个月就做出
这可能吗？就
工，做一台出“，有现成图纸、熟练内光刻机厂家。来也不止这点时间吧算国
们。”白云天看没有解释。有行不行咱知道了试试不就着众人表情，笑了笑
么。要知识注入的新人亲自他带着受了高端制造技术一种接参与，两个算什月制造一台光刻机
用机床设备，哪要得了两个月！像不是没有专
台光上专门制出去。十造光刻机的asl，百一年就要卖几刻机
两月一台？这
速度，早就破产倒闭！么慢的生产了
做术极限。掩早就做好了，白云天、李莲亲自动手光刻掩膜板，达到了钢铁城当前技的这是
膜并非只有一个，而是一套。光
的改变。逐步刻蚀部位的有极微小离子注入等方式，的元器件、连线等不道的漫长加工过程在硅晶元基片过沉积、可能就只掉，一道工序，光刻胶，然后通刻是个工序多达上百同部件。上生成所需需要加工
由因道工序，经包含了都只针对一此整个过程是支离所有晶体管、电阻、电容等各种元器件的裸晶片。由破碎的，每一次光刻数百道工序之后，才会制造出一个
过会出现错位，几个纳米。否则就导致沉积、注入失败。可于工序漫长，每一道工序的掩膜对准，误差不能超不到正确的位置，制造必须严格
膜版的精度要求是多么高。从想而知，掩
。错的细线，根本不星点点的点、和纵横交人只能看的到星终出来的电路是怎样制成的掩膜版上，众知道最
工序如此之长，当然不可能马上就得出结果。研
的岗位，继续后，他们也的好奇，。云天宣但是他们还有别的只能回到本来布光刻机研发成研究工作究人员虽然很完成上面交代下来研究工作要做，当白功，研制团队解散以
，眼看后一道最白云身连套防护服们面前。工序，晶晶的晶圆片完成天、李莲等人穿着一个月后，着一张亮小心翼翼摆放到了他一
所见到的芯片。常割、封是裸晶片，还需要经过切装，才是大众平这还只
得知众所期待的，进了实心托在手中的上连套防护服验室，其他的人则站在讯的研究人员们玻第一次试制完成，闻璃墙外，好奇地看着白云天小级较高的研究人员穿来。等都放下“晶圆片。手头工作，聚了过
白总，这是什么集。“”一名实成电路？验室副主任好奇地问道
谜底。“密，笑呵没有继续保一款处理器！”白云天呵地解开了
处理器！”所
然发生了小小的骚动。格沉稳的研究员中，竟都眼睛一亮，在这些性有听到的人
住七嘴八舌问道。处任都激动起来，忍不入实验室的主任、副主是我们要研发的计算器？”机，所用的处理“难道这就格进那几位有资
理器啊！国
核心，研内搞了几十年集成电路长城0520微，还以此为产跟的机。发了国就紧了英特尔的8080国外步伐，早，从最开始在七十年代，就仿制
0520也好，都也好，还是长城0是仿制的人家可不管是808设计。
可以说，在处理没有任何拿得出手的成绩。所器一块，国内就
没有设计出一款焦虑，都在呼吁要研发。己的中国芯。可有识之士都在的处理器，更遑论制造了是喊声再大，国我们自有自己内依然
产一片空白！迄今为止，国依然是处理器
现在咋一听以自制。这理器处制造城自制的光刻机，成电路样品，就是出来的第一批集到白云天用钢铁，所有人都激动到无
功！来器，但能做出肯定不是处理，这就是极大的成自己设计的
“白总，这是什么处任，说话的声音都48？”旁边那位副主在颤抖。“理器？是奔腾，还是
都道。所不是！”白云天心情极好，逗趣地耸耸肩笑
出失望的表情。露有人都
奢望自制的光刻机，能以让他们兴奋不出最新款的奔腾制造2，能够做出早期的奔已。腾处理器就已经足他们根本不敢
若是不行，48也将就。可
是连48都做不出来出来又有什么用。那这光刻机制造，
奔腾会系，我们现在能，以也不是梦想…有的，未来奔腾2“也好，提上去，做38也不错。现在我后我们慢慢改进，饭总要一口一口地吃，没关强笑着，的制造精度总能将光刻机…”一位副主任勉们有经验了安慰道。
达到了0.下去了，欢集成度是00万，比英畅地笑道：“我亲自主晶片，白云天装不要高五十五万们，我们自制的光刻机晶体管！”奔腾pr还3微米！用它造出来的，最项目，怎么可能造一小线宽这枚特尔最新款的的光刻机！告诉你台只能制造38持的
“哇！”
吧！”“不可能
然比英特尔的么可能？”“我们自制的光刻还要细，这怎线宽竟机，
是说错了。习话器所有听到的人都是一表情，认为他一，传到实验室外他的话经由通副震惊的定，
能做出达到自信，完全不敢相信，路。、甚中国人也人家背后亦步至超过欧美的集成电小的自亦趋，他们已经有了小卑和不惯了跟在
现了白云天话中的漏这枚处理器的集成度定不是奔腾等等，白总，您刚才说“pr，那它是什洞，立即叫了出来么芯片？”有人发是00万，那它肯。其
他反应过来。白人一听，也是迅速
枚处理器芯片，一它的集成度为0筹。奔腾pr还超出一0万，比然后又说云天之前就说了，这是
理的处理0进的处了，哪还有什器万之巨是最新款、最先可是奔腾pr就成度达到0么集器！他
笑。在开玩一定是
是心中，不知道怎么。，又有些隐隐的遗憾所有人脸上一松，可
如果是真的，那该多好啊……白
放低音量，轻r，它是我们自号……”不是奔腾声道“它当然个个看过去护目罩，从众人云天微笑着，目光透过，直到环视一圈，才p上一行设计的华芯一脸
，拼命想要说什么有人都涨红了。各，所没等他说完，实验室内外已经一片沸腾脸
么。清对方在说什种声音混杂，谁也听不
天说什么。在僚的衣服、手臂，拼命撕扯着其他同，想要向白云们用可是没人停嘴，他尽力气
，可他们还是努力相互白云天身边，看样子想要支不住的样子任身体晃动，扶，颤声向他询问副主自己设计的处理器？一种主任、”撑：“白总，真是我们搀
容一敛，严肃地回答道。“是！”白云天笑
”““这是真的？
是真的！”
国产处理器？”自己设计研发的第一款们是我“您没骗我们，它真的
“我没骗你们！”
白云天表情从没有。未有过的严肃，一点笑容都
员，忽然在他身前，几个曾在国内研究所待了大半辈子的老研究失声痛哭起来。“
”终于，我终于看到了！
活！”“这辈子，没白“
够了，够了，现在就是让我去死，也没有遗憾了……”望
渐渐安静下来着一种痛哭的研究员们。在流涕的老研究员，玻璃墙外面吵杂
是眼泪纵横。上，同样他们的脸